研究内容詳細

• Scanning probe anodization
• SAMレジスト膜とプローブリソグラフィ
• 複合リソグラフィ
• SOI基板の微細加工

関連資料

• SPMナノ加工（PDFファイル:約1MB）
• SAMレジスト膜とナノ加工 (英語版：PDF file: 3.3 MB)

研究テーマ一覧

• [ 1 ] 自己集積化による薄膜形成
• [ 2 ] 材料表面の光化学表面処理＆マイクロ加工
• [ 3 ] 固液界面分析のための液中AFMの開発
• [ 4 ] 物質の空間選択集積による微細構造構築
• [ 5 ] ナノプローブリソグラフィ

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