研究テーマ – 材料表面の光化学表面処理＆マイクロ加工

研究内容詳細

  • 真空紫外光照射による材料表面の直接励起露光
  • 一重項酸素による化学増感露光
  • 高真空環境下での真空紫外光照射による酸素トリミング
  • グラフェン誘導体アシスト半導体エッチング

真空紫外，Vacuum Ultra-Violet (VUV)

関連資料

  • SAMのVUVマイクロ加工（PDFファイル 約1.4MB）
  • プラスチック表面活性化－接合技術の開発とマイクロ流路プレート製造への展開（PDF ファイル 約2.2MB）

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