研究室紹介

研究テーマ一覧

[ 1 ] 自己集積化による薄膜形成

  • 有機シラン系自己集積化単分子膜の気相成長
  • 水素終端化シリコンへの有機分子接合
  • 有機酸分子系単分子膜
  • 電気化学活性単分子膜
  • 酸化グラフェン薄膜

自己集積化単分子膜, Self-Assembled Monolayer (SAM)
自己集積化分子膜概論(Introduction-To-SAM 約9.9MB)

[ 2 ] 固液界面分析のための液中AFMの開発

  • 電気化学AFMによるイオン液体/電極界面の原子レベル分析
  • マルチモーダルAFMによる潤滑油/固体界面の原子レベル物性解明
  • 液体金属中AFMの開発

固液界面原子スケール分析のための液中AFMの開発(PDF ファイル 約2.9MB)

[ 3 ] 材料表面の光化学表面処理&マイクロ加工

  • 真空紫外光照射による材料表面の直接励起露光
  • 一重項酸素による化学増感露光
  • 高真空環境下での真空紫外光照射による酸素トリミング
  • グラフェン誘導体アシスト半導体エッチング

真空紫外,Vacuum Ultra-Violet (VUV)
SAMのVUVマイクロ加工(VUV-Patterning-J 約1.4MB)

プラスチック表面活性化-接合技術の開発とマイクロ流路プレート製造への展開(ActivationBonding-J 約2.2MB)

[ 4 ] 物質の空間選択集積による微細構造構築

  • 無電解めっきによる金属マイクロ~ナノパターン形成
  • 酸化グラフェンシートのマイクロ~ナノ空間集積
  • 高分子表面への酸化物マイクロパターン形成

[ 5 ] ナノプローブリソグラフィ

  • Scanning probe anodization
  • SAMレジスト膜とプローブリソグラフィ
  • 複合リソグラフィ
  • SOI基板の微細加工

SPMナノ加工(SPM-Nanofabrication-J:約1MB)
SAMレジスト膜とナノ加工 (英語版:SPL-E: 3.3 MB)

研究室紹介資料

研究室概要 NSA-Lab_2015J(2015.04.17 更新;PDFファイル,約2MB)

その他学術資料

分子間相互作用入門 Intermolecular-interaction(2009.10.30 更新;PDFファイル,約1.1MB)

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