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研究テーマ – ナノプローブリソグラフィ
研究内容詳細
Scanning probe anodization
SAMレジスト膜とプローブリソグラフィ
複合リソグラフィ
SOI基板の微細加工
関連資料
SPMナノ加工(
PDFファイル
:約1MB)
SAMレジスト膜とナノ加工 (英語版:
PDF file
: 3.3 MB)
研究テーマ一覧
[ 1 ] 自己集積化による薄膜形成
[ 2 ] 材料表面の光化学表面処理&マイクロ加工
[ 3 ] 固液界面分析のための液中AFMの開発
[ 4 ] 物質の空間選択集積による微細構造構築
[ 5 ] ナノプローブリソグラフィ